伴随着紫外激光器的逐渐成熟,稳定度的增加,激光加工产业已从红外激光转向紫外激光。同时,紫外激光器的应用越来越普及,激光应用迈向更广阔的领域,紫外激光切割机的应用在向品质更为上层的领域发展。 紫外激光晶圆切割:蓝宝石基板表面坚硬,一般刀轮很难对其进行切割,且磨耗大,良率低,切割道更大于30 μm,不仅降低了使用面积,而且减少了产品的产量。在蓝白光LED产业的推动下,蓝宝石基板晶圆切割的需求量大增,对提高生产率、成品合格率提出了更高的要求。
紫外激光陶瓷切割:除了传统的陶瓷加工工艺外,陶瓷加工也因应用种类的增加,进而进入了激光加工领域。按照陶瓷的材料种类可分为功能陶瓷、结构陶瓷及生物陶瓷。可用于加工陶瓷的激光有CO2激光、YAG激光、绿光激光等,但是随着元器件逐渐小型化,紫外激光加工成为必要的加工方式,可对多类陶瓷进行加工。
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